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3D-X線解析装置

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  3D-X線解析装置(高分解能3次元X線CTシステム)

X線による透視像とサンプルを回転・合成させた3次元像(CT)により、断層像と、3次元像による確認が可能です。試験体の内部構造状態を非破壊で観察・検査・計測を行うことができます。

メーカー:ユニハイトシステム (型格:XVA-160rz)

>3D-X線解析装置 ユニハイトシステム (型格:XVA-160rz) 3D-X線解析装置 (庫内大きさイメージ)

D-X線解析装置 外観と庫内大きさイメージ

3D-X線解析装置 動作原理

3D-X線解析装置(高分解能3次元X線CTシステム)

X線はマイクロ波・赤外線・可視光線・紫外線などと同じく電磁波の仲間です。電磁波の中では紫外線より波長が短く(0.001~1nm)、物質を透過する力が強い性質を利用し、非破壊での透過検査・確認を可能にしています。

仕様

 

※ご希望の条件で試験可能かどうか、試験条件をご連絡ください。

項目 仕様
試料最大寸法 W460 x D410 x H120mm
試料最大重量 5kg
観察可能範囲
  • 平面観察時 MAX 30mm x 20mm
  • CT観察時 MAX φ12mm/8mm厚(サンプル形状に依存)
  • 最少焦点寸法: 0.8μm
最大倍率
  • 平面観察時 625倍(サンプル形状に依存)
  • CT観察時 220倍(サンプル形状に依存)
特徴
  • 傾斜型CTによる断面観察が可能
  • 高分解能装置であり、微小箇所の観察が可能
  • X線の感度が高いため、従来の装置では透過して見づらい材料(Cu,Al 等)の観察が可能

 

 活用事例

ICチップの透視観察


サンプルを回転させながらX線を照射。サンプル内部の3次元構造を観察。3次元構造を透視観察

半田接合部の透視観察


部品を搭載した評価基板やICを、温度サイクル等の環境試験実施後にリード部ハンダ接続信頼性確認、ICパッケージ内部のボンディング剥離等が非破壊で確認可能です。また、CT撮影により断層像や3次元像で画像表示出来ます。

接合部の剥離箇所の断面を傾斜CTにより観察

接合部の剥離箇所の断面を傾斜CTにより観察

 

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ロックイン赤外線発熱解析装置を始め、超音波探傷装置、3D-X線解析装置など、非破壊/破壊を問わず故障解析設備を多数所有しております。
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