材料分析
素材・生成物・付着物の成分の特定、微細構造の解析・形状分析を承ります。
材料分析によりお客様の材料開発をサポートします。
微細構造解析 局所断面観察 表面分析 元素分析 イオン分析 有機分析
微細構造解析
局所断面観察
| 集束イオンビーム加工観察装置(FIB-SIM) |
断面の加工・SEM／SIM観察、結晶粒の観察 SEM／AES の分析観察断面の作製 TEM の試料作製、配線加工など |
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表面分析
| 走査型オージェ電子分光装置(AES,SAM) |
表層部と深さ方向の元素分析（1at%オーダー） 高精細元素マップ可、低速イオン照射可 最小プローブ10nmφ、Li～U 分析 |
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| 走査型X線光電子分光装置(マイクロXPS) |
表層部と深さ方向の元素／状態分析 状態分析マップ可、最小プローブφ9μm、Li～U分析 モノクロAl走査型X線、Ar／C60イオン銃 |
元素分析
| 波長分散型蛍光X線分析装置(WD-WRF) |
元素分析（ppmオーダー）、O～U 分析、マッピング測定 分析領域:φ1mm～φ30mm サンプルサイズ:最大φ400mm×50mm |
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イオン分析
| イオンクロマト分析装置(IC) |
アニオン・カチオンの定性定量分析 （数10ppb～ppm） サプレッサ式、温度範囲 室温～80℃ 電気伝導度検出範囲 0.01～3000μs |
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有機分析
| フーリエ変換赤外分光分析計(FT-IR) |
顕微・ATR・反射・偏光機能付、有機材料の構造解析 分解能0.5cm-1、波長範囲 7000～400cm-1 |
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| ガスクロマトグラフ-質量分析計(GC-MS) |
溶剤・ガスの構造解析、有機材料の構造解析 |
