材料分析
素材・生成物・付着物の成分の特定、微細構造の解析・形状分析を承ります。
材料分析によりお客様の材料開発をサポートします。
微細構造解析 局所断面観察 表面分析 元素分析 イオン分析 有機分析
微細構造解析
局所断面観察
集束イオンビーム加工観察装置(FIB-SIM) |
断面の加工・SEM/SIM観察、結晶粒の観察 SEM/AES の分析観察断面の作製 TEM の試料作製、配線加工など |
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表面分析
走査型オージェ電子分光装置(AES,SAM) |
表層部と深さ方向の元素分析(1at%オーダー) 高精細元素マップ可、低速イオン照射可 最小プローブ10nmφ、Li~U 分析 |
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走査型X線光電子分光装置(マイクロXPS) |
表層部と深さ方向の元素/状態分析 状態分析マップ可、最小プローブφ9μm、Li~U分析 モノクロAl走査型X線、Ar/C60イオン銃 |
元素分析
波長分散型蛍光X線分析装置(WD-WRF) |
元素分析(ppmオーダー)、O~U 分析、マッピング測定 分析領域:φ1mm~φ30mm サンプルサイズ:最大φ400mm×50mm |
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イオン分析
イオンクロマト分析装置(IC) |
アニオン・カチオンの定性定量分析 (数10ppb~ppm) サプレッサ式、温度範囲 室温~80℃ 電気伝導度検出範囲 0.01~3000μs |
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有機分析
フーリエ変換赤外分光分析計(FT-IR) |
顕微・ATR・反射・偏光機能付、有機材料の構造解析 分解能0.5cm-1、波長範囲 7000~400cm-1 |
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ガスクロマトグラフ-質量分析計(GC-MS) |
溶剤・ガスの構造解析、有機材料の構造解析 |