LIBS：
レーザー誘起ブレークダウン分光法
分析概略
LIBS（Laser Induced Breakdown Spectroscopy：レーザー誘起ブレークダウン分光法）は高エネルギーのパルスレーザーを試料に照射することにより生じる発光を用いて分析します。レーザーにより電子励起され原子やイオンを含むプラズマが発生します。それらを分光することにより、元素の分析を行います。LIBSは酸素を含む不明元素の同定に向いており、試料に含まれる元素が不明な場合にの定性分析として利用されることが多いです。またLIBSは大気下での分析になるため試料の前処理が不要です。
＊各分析手法の分析深さはSMART Chartからご覧いただけます。
対象分野
半導体・エレクトロニクス・自動車・航空宇宙・鉄鋼・先端材料・エネルギー・メディカルデバイス
用途事例
- 固体試料の不明組成分析
- 大気下での分析
- 前処理なしの分析
対象試料の事例
- ガラス・光学ディスプレイ
- 鉱物
- 研磨剤
- セラミックス
- セメント
- はんだ
- 金属合金・金属・高純度材料
- 医療用セラミックス・磁器
- 法医学に用いるサンプル（例：毛髪・骨・インク）
原理/特徴
- 酸素を含む全元素定性
- スポットサイズ：20~200um
- 定性分析・ラインプロファイル・マッピング・三次元マッピング
装置構成
分析事例
- LIBS：ニッケルリンコーディングされたステンレスの深さ方向分析
LIBS：光学ディスプレイと強化ガラスのマッピング
