IGA：
ガス成分分析
分析概略
IGA（Instrumental Gas Analysis：ガス成分分析）は、固体材料中に存在するガス形成元素（C、H、O、N、S）をppmからパーセントレベルまで測定します。 高温炉を使用して試料を急速に加熱し特定の元素を揮発性のガス状態に変換し、それらを分離・検出・測定します。EAG Laboratoriesでは標準タイプのIGAとさらに検出下限の良い高感度IGAを実施しています。また、GDMSと組み合わせることにより全元素分析が可能です。
対象分野
半導体・エレクトロニクス・自動車・航空宇宙・鉄鋼・先端材料・エネルギー・メディカルデバイス
対象試料の事例
- 金属、合金
- Si/SiC混合品
- 貴金属材料
- CdTe
- 黒鉛
- 各種セラミックス
原理/特徴
高温の坩堝内で試料を燃料と共に燃焼し急速に加熱し揮発性物質へと変換します。出ガス成分であるH、C、N、O、Sはそれぞれ、H2O、CO2、N2、CO、SO2として検出します。
装置構成
分析に適した試料量/形状
- 推奨量：標準IGA 1～2g以上、高感度IGA 6g以上
- 形状：バルク・粉末・不定形
