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最先端のFinFETプロセスからGAA(Gate-All-Around)まで、化合物半導体(GaN / SiC)、各種高純度材料の評価まで。幅広いニーズに応える最新の技術資料をご用意しました。あわせて、SIMS分析データの利便性を高める専用データ処理ソフトウェアも無償で提供しています。

「解析をもっとスピーディーに、解釈をもっと確かなものに」。専門エンジニアの知見が詰まったダウンロード資料とSIMSデータ処理ツールを、日々の研究開発や品質管理のスピードアップにぜひお役立てください。

 

アプリケーションノート|分析事例


   

3D-APT
三次元アトムプローブトモグラフィ

GD-OES
グロー放電発光分析法

   

 

アプリケーションノート|分析事例


アプリケーションノート:A materials analysis study into FinFET technology advancement: 22 nm to 7 nm  

TEM/STEM
FinFET技術の進化:22nmから7nmへの材料解析研究

PCOR-SIMS
PCOR-SIMSによる極低エネルギーBoronイオン注入試料の熱処理後の特性評価

GDMS
太陽光発電 (PV) グレードの CdTe/CdS 粉末のGDMS微量元素測定

 

 

専用データ処理ソフトウェア


SIMS専用データ処理ソフトウェアSIMSview|SIMS Data Processing SoftwareSIMSviewは、EAGが開発したSIMSデータ専用の処理ソフトウェアです。分析結果ファイル(*.svw)を直接読み込み、プロット表示や深さ・濃度軸の再計算、重ね書きなどの高度なデータ編集を自在に行えます。レポート作成の効率化と、SIMSデータの直感的な解析・解釈を強力に支援する無償ツールです。

  • XY軸のスケールとデプスプロファイルの色の変更
  • テキストの追加
  • 複数のプロファイルの重ね合わせ表示
  • 重ね合わせた間隔の調整、デプスプロファイルの比較表示
  • 線量、面密度、接合深度の計算
  • 平均濃度の計算
  • 層厚の計算
  • 深さ分解能の決定

ダウンロードはこちらから


SIMSviewの操作方法を基礎から学べる個別説明会を随時開催しています。データプロット、軸調整、重ね書き、複数試料の比較など、実務で役立つ解析テクニックを専門エンジニアが丁寧に解説します。SIMSデータの解釈を深め、レポート作成を効率化したい方に最適です。お問合せフォームより、お気軽にお申し込みください。

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