Surface Analysis｜各種表面分析
表面分析
- XPS/ESCA (X線光電子分光法)
- AES（オージェ電子分光法）
- XRF（蛍光X線分析）
薄膜分析
深さ方向分析
- LA-ICP-MS（レーザーアブレーション誘導結合プラズマ質量分析）
- LIBS（レーザー誘起ブレークダウン分光分析）
- XPS Depth analysis（X線電子分光法を用いた深さ方向分析）
- AES Depth analysis（オージェ電子分光法を用いた深さ方向分析）
- TOF-SIMS Depth analysis（飛行時間型二次イオン分析を用いた深さ方向分析）
- SR（拡がり抵抗測定法）
