SEM-EDS：
SEM-エネルギー分散型X線分光法
分析概略
SEMを用いたEDS（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy：エネルギー分散型X線分析）では試料表面の元素情報を獲得することができます。
＊各分析手法の分析深さはSMART Chartからご覧いただけます。
対応分野
半導体・エレクトロニクス・自動車・航空宇宙・鉄鋼・先端材料・エネルギー・メディカルデバイス
対象試料の事例
- Ⅲ-Ⅴ・GaN系薄膜・ デバイスの断面構造観察及び元素分析
- Si系薄膜・ デバイスの断面構造観察及び元素分析
- その他各種固体材料の形態・構造観察
- 電子部品の故障解析
原理/特徴
EDSは試料に電子線が照射された際に発生した特性X線の電子エネルギーから元素と濃度を分析する手法です。
- 元素分析（ポイント、ライン、マッピング分析）
分析事例
- SEM-EDS：鉛とスズのマッピング・スペクトル分析
