PED：
プリセッション電子線回折法

分析概略

PED（Precession Electron Diffraction：プリセッション電子線回折分析）とはTEMを用いた微小範囲の結晶方位解析です。従来のXRDやEBSDとの違いは、ナノスケールで個々の結晶構造を解析することができます（EBSDの空間分解能は約100nmですが、PEDは10nm以下の個々の結晶方位まで分析ができます）。

対象分野

半導体・エレクトロニクス・自動車・航空宇宙・鉄鋼・先端材料・エネルギー・メディカルデバイス

対象試料の事例

半導体のナノスケール領域
金属・合金
セラミックス
磁性材料

用途事例

結晶粒の面方位分析・測定
結晶解析・結晶性評価
配向測定
双晶（粒界）評価

原理/特徴

結晶方位解析
結晶の形状（角度による粒界の定義）
結晶粒の相関角度・回転軸・測定
結晶粒径分布の測定
結晶方位マップ（グレインサイズ・集合組織・結晶相の識別と分布・ひずみ解析・結晶粒界解析）
結晶方位情報：極点図・逆極点図

比較：ESBDとXRDとPED

EBSD	XRD	PED
グレインサイズ：100nm～200um 配向性評価：◯ 格子定数：✕ 物質同定：△ 双晶（粒界）評価：◯	グレインサイズ：1nm～100nm 配向性評価：◯ 格子定数：◎ 物質同定：◯ 双晶（粒界）評価：✕	グレインサイズ：数nm 配向性評価：◯ 格子定数：✕ 物質同定：△ 双晶（粒界）評価：◯