GD-OES：
グロー放電発光分光法
分析概略
GD-OES（Glow Discharge Optical Emission Spectrometry：グロー放電発光分光法） は主成分から微量不純物（0.01%wt）の評価に適した手法で、ほとんどの元素（H～U）の複数元素を同時測定する事ができ更に深さプロファイルの取得が可能です。試料は導電体・非導電体に対応し金属からセラミックス、ガラス、ポリマーなど様々な材料に対応しています。
＊各分析手法の分析深さはSMART Chartからご覧いただけます。
対象分野
半導体・エレクトロニクス・自動車・航空宇宙・鉄鋼・先端材料・エネルギー・メディカルデバイス
対象試料の事例
- めっき、コーティング膜、薄膜
- 高純度金属
- 超合金、鋼、銅合金、アルミ合金
- カーボン及び黒鉛製造品
- ウエハ表面、リコンフォトニクス
- 酸化物・炭化物・窒化物・硫化物等のセラミックス
- 太陽電池用シリコン
- レアメタル・レアアース
- ガラス
- 二次電池正極材原材料
原理/特徴
試料表面をArイオンによってスパッタリングし弾き飛ばされた原子をArプラズマにより励起させ、発光分析を行います。
- 周期律上で安定同位体を持つ殆どの元素(H-U)の測定が可能
- 多くの元素に対し、0.01%wt（ppm-%）レベルの測定が可能
- 試料表面10nm～100-150umまでの深さプロファイルの測定が可能
- 表面が平坦であれば導電性・非導電性試料の測定が可能
分析に適した試料量/形状
- 形状：1cm以上の平坦な平板推奨
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技術資料
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