ETV-ICP-OES：
電気加熱気化法を用いた高周波誘導結合プラズマ発光分析

分析概略

ETV-ICP-MS（Electrothermal Vaporization ICP Optical Emission Spectroscopy：電気加熱気化法を用いた高周波誘導結合プラズマ発光分析）はETV（電気加熱気化法）とICP-OESまたはICP-MSを組み合わせることにより、広範囲の微量・超微量レベルの試料を高感度で分析をすることができます。バルク試料に対応し分析に必要量は極微量です（mg程度）。また、微量試料は前処理を必要としません。

対象分野

半導体・自動車・航空宇宙・鉄鋼・エネルギー・医療

対象試料の事例

• 試料は極微量（mg程度）
• 前処理不要
• 高感度分析
• フッ酸では溶けにくい試料を電気加熱気化法により分析可能（セラミック、グラファイトなど）

装置構成

分析事例

• ETV-ICP-MS：標準試料であるグラファイト（BAM-S009）、炭化ケイ素（BAM-S003）の微量成分分析
  各元素の検出時間を可視化（検出元素：Al、B、Ca、Cr、Cu、Fe、K、Mg、Mn、Ni、Ti、V、Zr）

• ETV-ICP-OES：グラファイト（BAM-S009）、炭化ケイ素（BAM-S003）試料量（10/20/30mg）ごとの検出感度の比較
  検体n=5で比較、相対標準偏差（RSD）は2.6～35.3%範囲内

• ETV-ICP-OES：原子炉用グラファイト（NBG-18)・原子力グレードSiC内の揮発性の微量元素をGDMSと比較分析
  ETV-ICP-OES・GDMSともに類似した結果が得られていることが分かる

分析に適した試料量/形状

• 推奨量：極微量（mg程度）
• 形状：バルク/粉末/不定形

関連のある分析手法

• GDMS
• GD-OES
• IGA
• ICP-MS
• ICP-OES

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