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走査電子顕微鏡（SEM - EDX）

　走査電子顕微鏡（SEM:Scanning Electron Microscope）

表面をシンプルに観察する手法だからこそ、不具合原因究明の糸口を見つける上で極めて有効な手法と言えます。EDX機能つき装置（SEM-EDX：エネルギー分散型蛍光X線分析装置）も保有しており、SEM観察箇所の元素の種類と量・分布の調査を受託致します。

SEM　JSM-6510LV（日本電子株式会社製） SEM-EDX　APERO（FEI製）

左：SEM　JSM-6510LV（日本電子株式会社製）　右：SEM-EDX　APERO（FEI製）

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細く絞った電子線を真空中で試料上に二次元的に走査し、試料表面から放出される二次電子等の強度を画像として得ます。

走査電子顕微鏡（SEM：Scanning Electron Microscope）

試料に電子線を照射した際に発生する二次電子や反射電子を検出することで像観察を行います。また、同時に表面～深さ1μm程度の領域から発生する特性X線は、元素によって固有のエネルギーを持つため、特性X線の分光スペクトルのピーク位置・強度から元素の種類・量を調査することができます。

エネルギー分散型蛍光X線分析装置（SEM-EDX：Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）

型格	項目	SPEC
JSM-6510LV	空間分解能	3.0　nm
JSM-6510LV	倍率	20 ～ 5万倍

摺動箇所の端子接点部の観察・分析

　　繊維状の異物が観察された。

疲労破壊　拡大図

疲労破壊による断線であることがわかります。（右：拡大写真）

脆性破壊による折損　

脆性破壊による折損であることがわかります。（右：拡大写真）

塵埃に含まれる金属片を見つけることができます。（金属片は塵埃よりも重いためSEMによる反射電子組成像で明るく表示されます）

素材が異なると表示される明るさが異なるため、層構成の把握が容易になります。

倍率10,000倍以上でのSEM観察も可能です。（ウェブ表示のため、実際に報告時に提出する画像より解像度を落としてあります。）

総合：会社案内／ソリューション

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